产品信息产品型号 激光平均功率脉冲重复率等离子体稳定性 操作

TEUS S-400 极紫外光源 TEUS S-400 400W100kHz或200kHz(可调)3% RMS 加入询价单

TEUS S-200 极紫外光源 TEUS S-200 200W50kHz或135kHz(可调)3% RMS 加入询价单

TEUS S-100 极紫外光源 TEUS S-100 100W25kHz或70kHz(z高)3% RMS 加入询价单