紫外线光谱仪 190-850nm

UV-470-151产品是一款完整的光谱仪装置，内含像差校正的凹面全息光栅和滨松光子S11151-2048 CCD探测器，在光谱范围190-850 nm内具有出色的性能。 关于OEM应用，您可以选择狭缝的尺寸或订购不带驱动板的UV-470。

XUV/EUV宽带软X射线高分辨率光谱仪 2-100nm

具有高分辨率和效率的多功能光谱仪 随着在半导体制造中使用 13.5 nm辐射的 EUV 光刻技术的发展，极紫外辐射（EUV、XUV）已成为一个重要的工业意义。这导致对高分辨率和灵敏的诊断和测量技术的需求。因此，我们构建了一个模块化的 XUV / EUV 和软 X 射线光谱仪，可用于等离子体光谱学、源诊断和计量学。它te别适用于激光等离子体源（LPS）和高次谐波源（高次谐波产生high harmonic generation，HHG）。