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    无掩模光刻系统Smart Printer UV

    Smart Print UV是一款基于μLCD投射技术的无掩模光刻技术。Smart Print UV适用于大多数的感光胶和基底,因此可以产生任何微米级分辨率的2D形状而无需实体的掩模版。

    产品特点打印分辨率低至15μm、 通过更换物镜,可以调节打印大小尺寸和分辨率、 可以兼容CAD格式文件和bitmap图像、 可以通用g line感光胶、 适合于大多数基底材料,硅,玻璃,金属,塑料、 适合于Max. 5‘’英寸的衬底盘片、 带CCD视觉系统以方便各个步骤调试

    产品型号Smart Printer UV

    应用领域

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    主要参数
  • 核心参数
  • Max. 直写区域

    70 x 70 mm2

  • 尺寸图
  • 详细参数

    Smart-Print UV 主要参数:

    版本

    标准

    高级

    光源

    曝光光源385nm(准直光源590nm)

    Min. 特征尺寸

    1.5 um

    对齐精度(r 1 cm2 打印区域)

    2 μm

    1 μm

    Max. 直写区域

    70 x 70 mm2

    110x110mm2

    寸底尺寸

    Up to 4”

    Up to 5”x5”

    书写速度

    77 mm2

    /min

    220 mm2

    /min

    系统尺寸

    W x D x H = 52 x 52 x 69 cm3


    Smart-Print UV 系统优点:

    无需实体掩模版,因此节省大量的制造掩膜模时间和费用

    桌面型系统,占地小

    te别适合微电子器件,2D材料,微流控,光电子器件,光学和任何2D微纳制造应用


    Smart-Print UV 系统附件和选件:

    多种样本夹具(玻璃slide, 4’’基片等)

    物镜:

    1 X

    5X

    书写区域(10.56 x 5.9

    2.1 x 1.2

    Min. 特征(15

    3


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    SmartPrint UVMicrolight法国公司成立于年,一家专业提供微米纳米级3D及无掩模光刻。公司系统以双光子聚合、激光直写为基础兼容生物打印和组织工程亚秒)3D纳米打印系统、系统,传统器尤其Microligth3Dmicrochip具有长而高能的脉冲,可以实现更高效的聚合过程)分辨率的同时具有更高的性价比。公司3D。该公司的打印已在quan球销售,并已在欧洲,美国,中国,新加坡和Microlight3D11 月推出新产品,并进一步发展其技术。它旨在实现更快的写入速度,这将使更大的微观物体,以及提高精度,体积和表面平滑度,并扩大已经大量的兼容材料。软件改进也在进行中,以实现更复杂的设计和管理更大的文件

     

     

     


    可选配置表

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