激光源产生的紫外/软X射线辐射是Tingen在激光实验室开发的，由高脉冲能量YAG激光器（1064nm，800mJ，7ns）聚焦于气体电离产生。不同的目标气体对应不同的能谱分布。
产品特点低残留、 高EUV能量（3.5 MJ）、 z低耗气量（气体脉冲持续时间：<1 ms）、 简单目标气体交换、 桌面系统
产品型号EUV-B-XRAY
应用领域 计量：反射测量吸收 光谱学（nexafs） 光学/传感器测试 EUV损坏调查 材料相互作用基础研究 水窗显微镜（λ=2..4纳米）
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工作波长 脉宽 重复频率
20nm 7 ns 10 Hz
参数 | 单位 | 指标 |
产品编号 | EUV-B-XRAY | |
工作波长 | nm | 20nm |
脉宽 | ns | 7 |
脉冲能量（Xe） | mJ | 3.5(4π sr, 2% BW) |
转换效率 | % | 0.45 |
等离子形状 | NA | Ø ~ 300 µm |
重复频率 | Hz | 10 |
无
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