铌酸锂高频相位调制器

1064/1310/1550nm 铌酸锂（LiNbO3）高频相位调制器采用钛扩散或质子交换工艺制作光波导，输入输出光纤与波导精密斜耦合，利用铌酸锂材料的电光效应实现光信号的相位调制。钛扩散（Ti-indiffusion）或质子交换（APE）波导工艺可分别得到双折射或单偏振的相位调制。