面型干涉是目前最主流的光学表面计量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。 VICT（Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波谷处的振动免疫） 打破了“干涉仪非常容易受到干扰、要在十分精密的环境下工作”的认知。