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小型O C L波段 MEMS可调光滤波器

小型O C L波段 MEMS可调光滤波器

MEMS 可调谐滤波器是基于 MEMS(微机电系统)技术 和光栅技术原理,具有尺寸小、速度快、寿命长、稳定性与可靠性高等特点,可覆盖 O 波 段或 C 波段或 L 波段波长范围。器件扫描范围达到了 80nm。

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