相位掩膜光栅是通过光栅中晶格形状和晶体表面倾斜斜角在定位晶格上刻蚀出自身相位特征的特殊构造而形成。
产品特点
产品型号MASK-1538-1062-10X10
应用领域
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波长 光栅周期 光栅尺寸
1538nm 1062.8 nm 10 mm x 10 mm
参数 | 指标 | ||
波长 | 1526nm | 1538nm | 1550nm |
光栅周期 | 1054.3 nm | 1062.8nm | 1071.2 nm |
光栅周期精度和均匀性 | +/- 0.01 nm | +/- 0.01 nm | +/- 0.01 nm |
光栅尺寸 | 10 mm x 10 mm | 10 mm x 10 mm | 25 mm x 10 mm |
基板尺寸 | 30 mm x 25 mm x 2 mm | 30 mm x 25 mm x 2 mm | 30 mm x 25 mm x 2 mm |
针对248nm非偏振照明进行了优化 | |||
无
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