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光源 非相干光源 氦氖激光器
光源
氩离子激光器457.9/488/514.5nm 功率16/80/100/300mW
高功率氦镉HE-CD气体激光器（442nm 150mW）
632.8nm 氦氖激光器 0.5/1/1.6mW
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